改建成本都极低。

　　第二种叫浴缸法，这个方法和梁远刚刚说的灵感类似，就是把整片晶圆都丢在水里，装晶圆的容器→浴缸随着晶圆工作台移动。

　　这种方法的好处是工程上的技术难度较低，不会对晶圆生产线的良品率造成负面影响，不过缺点是要对现有的晶圆生产线做较大的改动，必须研制全新的能在水中工作的光刻胶，必须对晶圆工作台加以改进，而且由于晶圆工作台上增加了水的重量，晶圆生产线的生产节拍也会随之改变，相比喷淋法晶圆生产线的生产效率会有一定幅度的下降。

　　第三种叫泳池法，就是把整个光刻程序都丢进水里来完成，这种方法虽然能最大化的减少线宽，不过在水中操作相当于重新研发一套晶圆生产体系，无论工程难度还是经济成本都双双过高。

　　新世纪之后，浸入式光刻机的国际主流路线采用了喷淋法，不过以港基集电目前的实力来说，第二种浴缸法才是最合适的，新世纪之后尼康和艾斯摩尔之所以选了喷淋法路线，一个是两家精密加工和精密控制的水准高没门槛，另一个是国际上现存的光刻设备大部分都是这俩家卖的，当然是升级成本越低升级方式越简单越好。

　　九十年代初，制程工艺和芯片设计之间的分界远没有未来那般清晰，技术大佬三人组目前虽然都是以芯片设计为主业，但三人都对晶圆制程了如指掌，随便丢到那条产线上当个线长绝对是富富有余。

　　刘飞扬在纸上龙飞凤舞的写了大半张的算式，然后抬头用无法置信的语气对梁远说道：“大少，如果从西门子引进的设备投产，把大少这个想法放进生产线，我们直接就撵上国际先进水准了～～”

　　港基集电主导的共和国的火炬计划属于基础科研类，压根就没有保密一说，港基集电的财务审计是通过第三方的会计师事务所交叉审计，梁远打算采购大批的国产5微米晶圆生产线，在财务报表上根本无法隐藏。

　　当然，引进第三方会计师事务所虽然一定程度上不利于企业保密，但对国际交流引进技术还是很有促进作用的。

　　随着港基集电5微米晶圆产线的成熟量产，此时的海外电子产业界巨头已经意识到，微米线宽对港基集电来说随时都可能获得突破，一旦港基集电自主突破了微米的制程技术，2微米的海外制程技术很可能没有花大价钱引进的必要了。

　　因此这次苏良宇等人这次去西门子谈判，受到了西门子半导体极为热情的接待，和三个月之前的态度简直判若两人，甚至西门子还承诺会在欧洲电子行业内部展开游说，争取尽早把2微米制程技术撤下巴统的监控名单。

　　实际上，哪怕没有梁远干扰历史，在九一年的下半年巴统组织自己就开始讨论

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